随着半导体技术的高速发展,功率器件的性能需要不断提升,以满足新一代电子产品对高频大功率器件的要求,然而受输出功率和散热性能的限制,现有的材料,难以在高频领域满足大功率、高可靠性电子产品日益增长的需求。
金刚石具有带隙宽、热导率高、击穿场强高、载流子迁移率高、耐高温、抗酸碱、抗腐蚀、抗辐射等特性,优越的性能使其在高功率、高频、高温领域等方面发挥重要作用。
金刚石是一种性能优异的宽禁带半导体材料,优势诸多:
(1)极高的热传导:热导率2200W/m.K ,室温下金刚石具有最高的热导率
(2)极高的介质击穿特性:击穿电场为107V/cm,是GaAs的50倍,GaN的2倍,SiC的2.5倍。金刚石的击穿电压比硅高514倍,而6H-SiC、4H-SiC和GaN则分别比硅高56、46和34倍。器件的工作温度大于500 ℃,在高功率、高温度和恶劣环境工作的器件应用前景广阔。
(3)极高的功率容量:容许的功率使用容量是Si材料的2500倍以上;特别适合制作大功率电子器件
(4)低的介电常数:金刚石的介电常数为5.7,约为GaAs的1/2,比InP的一半还小,也就是说,在给定的频率下,金刚石半导体具有可竞争性的容性负载,这为毫米波器件的设计提供了极大的方便。
(5)高饱和载流子速度:刚石的饱和载流子速度是GaAs、Si或InP的12.7倍,而且载流子速度比GaAs的峰值还要大,即在电场强度增加时也可维持其高的速率。
(6)高载流子迁移率:无论是电子迁移率还是空穴迁移率都优于其他半导体材料,金刚石电子迁移率为4500cm2/(V·s),而Si为1600cm2/(V·s),GaAs为800cm2/(V·s),GaN为600cm2/(V·s);金刚石的空穴迁移率为3800cm2/(V·s),而Si为600cm2/(V·s),GaAs为300cm2/(V·s),GaN小于50cm2/(V·s),因而,金刚石可以制作高频电子器件。
(7)极高的品质因数:通常,品质因数由饱和载流子速度和介电强度确定。如以Si的品质因数为1作为基准,那么GaAs的品质因数为7,InP的品质因数为16,SiC的品质因数为1138,金刚石的品质因数为8206。当其品质因数用于判断逻辑电路的潜力时,介电常数、饱和载流子速度和热导率是判据,如Si的判据为1,则GaAs为0.456,SiC为5.8,金刚石为32.2,因此,在理论上,金刚石最适合于集成电路使用。
(8)优良的光学特性:金刚石不仅具有优异的电学特性,而且有优良的光学特性。金刚石除在紫外和红外的某些波段存在本征吸收外,在整个光谱波段(紫外、可见光、红外)均透明,并有不寻常的高折射率,因此,金刚石是最理想的光学窗口材料。
(9)极高的硬度和极高的化学稳定性:金刚石不仅具有结构致密、耐磨、低摩擦因数和极高的硬度,而且在大多数环境下都是绝对稳定,耐化学腐蚀的。
凯发k8国际专注金刚石的生产与研发,核心产品金刚石热沉片热导率1000-2000W/m.k,晶圆级金刚石Ra<1nm,金刚石窗口片,金刚石异质集成复合衬底等产品,掌握成熟的金刚石热管理解决方案,目前采用金刚石热沉的大功率半导体激光器已经用于光通信,在激光二极管、功率晶体管、电子封装材料等领域也都有应用。